半導体デバイスに欠かせない産業ガスの機能と役割

スマートフォンをはじめとするデジタル機器に使われている半導体デバイス。
もはや半導体無しの生活は考えられない時代となったが、実は半導体の製造には産業ガスは欠かせず、ガス無くしては、今日のデジタル社会はあり得ないといえるほどである。
半導体と産業ガスの関りについて紹介しよう。

ガス自体が半導体の材料となる

では、何故、半導体電子回路形成にガス体の材料を使うのだろうか？
それは、半導体デバイスを効率的かつ大量に生産するのに最適だからだ。
シリコン基板上で均一に材料を拡散させ、反応させるには固体や液体よりもガス体の方が効果的だからである。
半導体プロセス反応は基本的に熱化学反応であり、気体の方が活性度は高くなる。

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