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No.1041号

2024.10.01発行

ガスレビュー No.1041号(2024年10月01日)

【エレクトロニクス】次世代エッチングは低温がお好き⁉

TELに続き、Lamも新技術発表ガス供給系配管はハステロイが最適

マイナス60℃以下の低温エッチングが次世代3D‐NAND型フラッシュメモリのプロセス技術となりそうだ。 
東京エレクトロン(以下TEL)が昨年6月にマイナス60℃の低*温下でフッ酸/三弗化リン(HF/PF3)利用のプラズマエッチングを発表、高アスペクト比と温室効果ガスを従来比で84%削減できる技術として、半導体業界は驚きを持って注目を集めた。 
そして、ドライエッチング装置の世界的トップメーカーであるラムリサーチ(以下Lam)は8月22日、1000層対応の低*温プラズマエッチング〝Lam Cryo3.0〟に関する技術説明会を開催、発表した。

【地域市場再発見山陰】超安定から、変化する山陰市場

村田製作所増設続くプロテリアルに事業分離の動き

山陰と山陽を結ぶ大動脈である、伯備線に今年4月6日、特急やくも新型車両(273系)がデビューした。
「やくもブロンズ」のカラーは山陰の空に良く映える。設備も一新され、乗りごこちも改善された。
米子や松江、出雲などの観光強化に結びつきそうだ。
しかしながら、同じ日本海側の観光地である石川県と山陰を比べると、インバウンドの消費額は大きな開きがある。
石川県は23年で200億円、鳥取県14億円・島根県16億円で合計30億円である。
コロナ前の19年は鳥取県53億円・島根県22億円(日本政策銀行調査)で、回復が遅いのがわかる。

ガスレビュー目次

エレクトロニクス

3

・次世代エッチングは低温がお好き!?ガス供給系配管はハステロイが最適

国内市場

4

・ダイヘン、350AのCO2/MAG半自動溶接機を上市
・ジャパンガス、小田原滅菌センター開設
・バリューインパクト、ステンレスチューブカッター評価高く滑り出し好調
・クリーン・テクノロジー、本社移転で排ガス処理装置製造能力増強

焦点

8

・エア・ウォーターの下期産業ガス事業、国内エレクトロニクス産業のキャッチアップと海外インド事業にフォーカス

時事コラム

9

・サイサン、LGC容器の遠隔監視システムをIoT・AIサービス企業と共同開発
・JIMGA、6年ぶり集合形式での炭酸ガス講習会が開催
・高圧ガス保安協会、「水電解装置に関する基準」「水電解装置の電解セルスタックに関する基準」を出版物として販売開始
・エア・ウォーター、フュージョンエネルギー産業協議会に入会
・東邦アセチレン、第51回ダンロップ女子オープンゴルフ開催に合わせテレビCM第2弾を制作
・日本酸素ホールディングス、TNFDフォーラムに参画
・H2&FC EXPO秋、10月幕張メッセで開催
・二酸化炭素輸入量前期比7割増

HOT ASIA PRESS

12

・エアプロダクツ、台湾で再エネ由来電力PPA締結

海外市場

12

・リンクス・コンサルティング、半導体カンファレンス2024を10月に開催
・リンデ、ダウのネットゼロ・エチレンプラント向けガスコンプレックス建設に20億ドル投資

続報

13

・岩谷産業、エーテックの特定設備検査成績表不正押印に関する調査結果公表

水素エネルギー

14

・明治電機工業、50kW純水素型燃料電池2台納入
・タンガロイ、焼結炉の還元用水素に山梨県産グリーン水素を活用
・三菱商事ら、データセンター運用に水素と燃料電池を活用する実証を開始
・産官学連携で、北九州響灘エリアで水素拠点化に向けたFS推進

環境

17

・素材化する炭酸ガス

地域市場再発見山陰

19

・超安定から、変化する山陰市場

流通回路

22

・2024全国イワタニ会の集い開催
・エア・ウォーター東日本、松本市で再エネ利用の地域エネルギー事業会社に出資
・エア・ウォーター北海道、小水力発電推進のための協定締結
・ヤマト産業、広島営業所移転

DATA

23

・2024年溶接ロボット出荷実績

最新工業ガス関連株式市況

23

ガスレビュー指標

24

・機器編

決算

25

・長野計器
・新コスモス電機
・理研計器
・星医療酸器
・大丸エナウィン
・レゾナック・ホールディングス
・トリケミカル研究所

組織人事

28

・大陽日酸
・日本ヘリウム、社長交代
・パナソニックコネクト

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