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No.940号
2020.07.15発行
ガスレビュー No.940号（2020年07月15日）
最先端半導体プロセスで特殊ではないガスが伸びる
炭酸ガス。水素が露光工程周辺で採用
最先端半導体で特殊ではないガスの利用が増えている。具体的にいえば、炭酸ガスと水素である。
水素は以前から半導体製造プロセスで、キャリアガス等として利用されていたがマイナーな役割だった。一方、炭酸ガスは高純度ガスでCVD材料として検討された程度であった。
ところが、今回はメインロードで堂々と使われるのだ。それも最先端の3DNAND型フラッシュメモリやFIN-FET・DRAMに使われるのである。炭酸ガスは液浸と臨界抽出線上に使われる。
20年1～6月のガス関連調達、全149件に
20年1月～6月末日までの官報に掲載されたガス及びガス関連機器・企業の落札案件は、当社調べによると全149件となった。
ガス関連では、概ね昨年実績を上げた企業が、そのまま継続して同案件を落札している傾向にある。
つくばエリアの研究機関に強い巴商会では、同期間中においても産業技術総合研究所、物質・材料研究機構等向けに窒素やヘリウムなどガス調達を13件、装置・薬液の調達を3件落札している。
鈴木商館も強く、大学・研究機関の他、気象庁向けヘリウム、標準ガスを落札している。
国内商用水素ステーション整備、自立化が今後の課題
2020年度の次世代自動車振興センター（NeV）による水素ステーション設置補助事業には、前年度の繰り越し分を除き20件が採択され、国内の商用水素ステーション整備数は157ヶ所になる。
国の水素・燃料電池戦略ロードマップが掲げる「2020年度までに160ヶ所整備」達成を目前に控える。
4大都市圏から先行したステーション整備も今では35都道府県にまで拡大、運営事業者も30社を超えるまでになった。
その運営事業者を見ると、岩谷産業や日本エア・リキード、ENEOS（旧JXTGエネルギー）が数多くのステーション整備を進めてきた。
この3社で、計画中を含め全体の約2/3のステーションを整備している。
目次
市場動向
3
・最先端半導体プロセスで特殊ではないガスが伸びる
国内市場
5
・山形液酸でVSUプラント竣工式開催
・コフロック、新工場は見える化、出荷までワンウェイの生産性向上を追求
・岩谷産業、民間企業11社と使用済みプラスチックの再資源化に取り組む新会社を設立
食添ガス
7
・高級ワインで始まる食添アルゴンの成長
時事コラム
8
・仁木工芸、サイラボ製プログラムフリーザー新機種を販売開始
・コータキ精機、ハンドプラズマ用電源強化ア
・シスト・ワン、自粛期間中もリモートでメンテナンスに対応
・エア・ウォーター、歯髄幹細胞を用いた再生医療を実用化
・UFB三誠コーポ、乾電池で駆動する小型ウルトラファインバブル発生装置開発
環境
11
・NEDO、セメント工場のカーボンリサイクル技術開発に着手
トップインタビュー
12
・「先行き不透明な中、業績予想通りに進行中」
・大陽日酸 市原裕史郎 社長CEO
HOT ASIA PRESS
13
・大阪ガスリキッド、ベトナムでの産業ガス製販事業へ参入
・SKマテリアルズ、半導体向け高純度フッ化水素の量産を開始
・エア・リキード、台湾で半導体ファブ向け大口ガス供給契約締結
海外市場
14
・リンデ、ガイスマーの合成ガスプラント稼働
・エア・リキード、オンサイト供給で炭酸ガス排出削減に貢献
新社長インタビュー
15
・「既存技術・ノウハウを「究め込む」と共に新領域へ「切り拓く」で成長図る」
・東京ガスケミカル 玄間隆之 社長
技術レビュー
16
・大陽日酸、金属有機構造体を用いた微量水分計来年より発売
落札
17
・20年1～6月のガス関連調達、全149件に
水素エネルギー
20
・国内商用水素ステーション整備、自立化が今後の課題 ～関連インタビュー～
・「エネルギーネットワークの中で水素の利活用以上に重要なのは製造と供給」
・横浜国立大学 光島重徳教授
水素エネルギー
22
・AHEAD、有機ケミカルハイド法による未利用エネルギー由来水素サプライチェーン実証の脱水素プラント見学会開催
流通回路
23
・鈴木商館、着々と進む新たな体制作り
・神奈川県高圧ガス流通保安協会、通常総会開催
・ミサワ医科工業、注射針生産工場を移転・増強
・近畿エア・ウォーター、本社移転岩谷
・産業、ウォーターサーバーを使用しない「富士の湧水」新発売
DATA
25
・2019年度建設機械出荷金額
最新工業ガス関連株式市況
25
ガスレビュー指標
26
・ガス編
決算
27
・鈴木商館
・トリケミカル研究所
組織人事
27
・小池メディカル
・日本メガケア
・鈴木商館
・函館酸素
・エア・ウォーター
・住友精化
・フジキン
・大陽日酸東関東
・東横化学
・福豊帝酸
・東邦福島
・岩谷物流
・加地テック
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